| 发明名称 | 一种测试自动上料卸料机台的方法 | ||
| 摘要 | 一种测试自动上料卸料机台的方法，属于半导体制造领域，包括：用于上锁和解锁功能是否正常的步骤；用于循环测试自动上料卸料机台的上料卸料功能是否正常的步骤；用于测试SMIF读写电子标签功能是否正常的步骤。本发明能通过远程控制测试SMIF的故障，提高了生产效率，节约了物质和人力资源。 | ||
| 申请公布号 | CN101350288B | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200710044056.7 | 申请日期 | 2007.07.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 赵连永;陈峰 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 一种测试自动上料卸料机台的方法，其特征在于包括：用于测试上锁和解锁功能是否正常的步骤；用于循环测试自动上料卸料机台的上料卸料功能是否正常的步骤；用于测试自动上料卸料机台读写电子标签功能是否正常的步骤。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||