发明名称 BOX CLEANER FOR CLEANING WAFER SHIPPING BOX
摘要
申请公布号 KR100958793(B1) 申请公布日期 2010.05.18
申请号 KR20070097817 申请日期 2007.09.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址