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发明名称 Surface treatment of silicon
摘要
申请公布号 US3160539(A) 申请公布日期 1964.12.08
申请号 US19610134795 申请日期 1961.07.18
申请人 TRW SEMICONDUCTORS, INC. 发明人 HALL THOMAS C.;HARRINGTON ALAN L.;CRISHAL JOHN M.
分类号 H01L21/306;H01L21/316 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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