Novel precursors for deposition of tellurium thin film and deposition method using the same,申请号KR20080015546-传众专利搜索

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发明名称	Novel precursors for deposition of tellurium thin film and deposition method using the same
摘要
申请公布号	KR100958331(B1)	申请公布日期	2010.05.17
申请号	KR20080015546	申请日期	2008.02.20
申请人		发明人
分类号	C07C395/00;C07F19/00	主分类号	C07C395/00
代理机构		代理人
主权项
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