发明名称 ALTERNIERENDE PHASENMASKE
摘要
申请公布号 AT467149(T) 申请公布日期 2010.05.15
申请号 AT20050447222T 申请日期 2005.10.03
申请人 IMEC 发明人 VAN LOOK, LIEVE;VERHAEGEN, STAF;HENDRICKX, ERIC
分类号 G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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