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发明名称 PROZESSKAMMER, INLINE-BESCHICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT466118(T) 申请公布日期 2010.05.15
申请号 AT20070101677T 申请日期 2007.02.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HENRICH, JUERGEN;SCHAEFER, MICHAEL;HABERKORN, EDGAR
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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