发明名称 MICROELECTRONIC CLEANING AND ARC REMOVER COMPOSITIONS
摘要 Cleaning compositions suitable for cleaning microelectronic structures having silicon dioxide, low-k or high-k di-electrics and copper or aluminum metallizations contain a polar organic solvent selected from amides, sulfones, sulfolenes, selenones and saturated alcohols and a strong alkaline base.
申请公布号 KR100958068(B1) 申请公布日期 2010.05.14
申请号 KR20047019579 申请日期 2003.05.27
申请人 发明人
分类号 G03F7/32;C11D1/00;C11D7/50;C23G1/00;C23G1/06;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304;H05K3/26 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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