发明名称 PROCEDE DE FORMATION D'UNE COUCHE MONOCRISTALLINE DANS LE DOMAINE MICRO-ELECTRONIQUE
摘要 <p>Un procédé de formation d'une couche mince en un matériau donné comporte les étapes suivantes : - on prépare un premier substrat 10 comportant, en surface, une couche amorphe et/ou polycristalline 12 dudit matériau donné, - on colle à ce premier substrat, par collage moléculaire, un second substrat 20 comportant en surface une couche monocristalline de référence 21, ayant une orientation cristallographique donnée, - on applique au moins à la couche amorphe et/ou polycristalline un traitement thermique adapté à provoquer la recristallisation en phase solide d'au moins une partie de cette couche amorphe et/ou polycristalline 12 suivant l'orientation cristallographique de la couche de référence 22, cette couche de référence agissant en tant que germe de recristallisation, et - on sépare la couche au moins en partie recristallisée vis-à-vis de la couche de référence.</p>
申请公布号 FR2938120(A1) 申请公布日期 2010.05.07
申请号 FR20080006071 申请日期 2008.10.31
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL FRANK;SIGNAMARCHEIX THOMAS;CLAVELIER LAURENT;DEGUET CHRYSTEL
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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