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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON RÖNTGEN- ODER EUV-STRAHLUNG
摘要
申请公布号 DE60141643(D1) 申请公布日期 2010.05.06
申请号 DE2001641643 申请日期 2001.10.12
申请人 JETTEC AB 发明人 HERTZ, HANS MARTIN;HEMBERG, OSCAR;HANSSON, BJOERN A.;BERGLUND, MAGNUS;RYMELL, LARS
分类号 H05G2/00;G03F7/20;H01J35/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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