| 发明名称 |
Procédé pour la fabrication de surfaces pures de corps semi-conducteurs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1401011(A) |
申请公布日期 |
1965.05.28 |
| 申请号 |
FR19640981906 |
申请日期 |
1964.07.16 |
| 申请人 |
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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