消除或分离由偏振光泄漏导致的误差光束的偏振干涉计

摘要

一种偏振双通干涉计包括偏振分光器(16)，参考光束(14)的光路中的参考反射镜(20)，以及在测量光束(12)的光路中的移动的测量反射镜(26)。该参考和测量光束具有不同的偏振方向。成角度的光束偏射装置，诸如玻璃楔或棱镜(32)起到消除或分离出误差光束(30)的作用，该误差光束是由一个偏振方向的光泄漏到另一个偏振方向的光中引起的。

主权项

一种干涉计，包括：光源；偏振分光器，其设置成从光源接收光并将光分为具有不同偏振方向的测量光束和参考光束，所述测量光束和参考光束分别经过测量臂和参考臂并然后返回到所述分光器；设置在测量光束和参考光束的至少其中之一的光路中的四分之一波片；检测器，从所述分光器接收经过测量臂和参考臂之后的所述测量光束和参考光束，以及响应于来自参考光束与测量光束的光的干涉；以及用于消除或分离出误差光束的装置，该误差光束是由于光从所述测量光束和参考光束中的一个光束泄漏到所述测量光束和参考光束中的另一个光束中、或者泄漏回光源所引起的；其特征在于：所述用于消除或分离出误差光束的装置设置在所述测量臂或参考臂中。