发明名称 |
Single crystal silicon on polycrystalline silicon integrated circuits |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0969500(B1) |
申请公布日期 |
2010.05.05 |
申请号 |
EP19990304073 |
申请日期 |
1999.05.26 |
申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
CELLER, GEORGE K.;CHABAL, YVES JEAN |
分类号 |
H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/06;H01L27/102;H01L27/13;H03B5/12 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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