| 发明名称 | 溅射靶材的表面处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法，包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行车床加工，并在车屑过程中采用酒精冷却；采用抛光件对车屑后的溅射靶材进行抛光。与现有技术相比，本发明可以及时冷却车床加工过程中产生的热量，使得车床加工时较少或不产生积屑，避免了积屑对溅射靶材表面造成损伤，提高了溅射靶材表面的平整度和光洁度，制作出符合工艺要求的溅射靶材产品。 | ||
| 申请公布号 | CN101700616A | 申请公布日期 | 2010.05.05 |
| 申请号 | CN200910211713.1 | 申请日期 | 2009.11.10 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;汪涛;刘庆 |
| 分类号 | B23P17/00(2006.01)I;B23Q11/10(2006.01)I;B24B29/00(2006.01)I | 主分类号 | B23P17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行车床加工，并在车屑过程中采用酒精冷却；采用抛光件对所述车屑后的溅射靶材的表面进行抛光。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||