发明名称 |
线路基板及其工艺 |
摘要 |
一种线路基板,包括一基础层、一图案化导电层、一介电层、一外部接垫及一导电块。图案化导电层配置于基础层上且具有一内部接垫。介电层配置在基础层上且覆盖图案化导电层。外部接垫配置于介电层上。导电块贯穿介电层且连接于外部接垫及内部接垫之间,其中外部接垫及导电块一体成形,且外部接垫的外径实质上等于导电块的外径。此外,一种线路基板工艺也被提出。 |
申请公布号 |
CN101702400A |
申请公布日期 |
2010.05.05 |
申请号 |
CN200910221778.4 |
申请日期 |
2009.11.16 |
申请人 |
威盛电子股份有限公司 |
发明人 |
宫振越 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
一种线路基板工艺,包括:提供一基础层、一图案化导电层及一介电层,其中该图案化导电层配置在该基础层上且具有一内部接垫,而该介电层配置在该基础层上且覆盖该图案化导电层;形成一图案化金属掩模于该介电层上,其中该图案化金属掩模具有一第一开口,且该第一开口暴露出部分该介电层;移除该第一开口所暴露出的部分该介电层,以形成一介电开口,其中该介电开口暴露出该内部接垫;形成一第一图案化掩模于该图案化金属掩模上,其中该第一图案化掩模具有一第二开口,且该第二开口暴露出该内部接垫;形成一导电结构覆盖该内部接垫,其中该导电结构包括一导电块、一外部接垫及一第一金属层,该导电块填充该介电开口,该外部接垫填充该第一开口,而该第一金属层填充该第二开口;以及移除该第一图案化掩模、该第一金属层及该图案化金属掩模。 |
地址 |
中国台湾台北县 |