电极的恢复处理方法

摘要

本发明提供一种电极的恢复处理方法。按规定的压力将具有规定粗糙度的复制面10的复制板10的复制面10s接触于形成在具有比复制板10的线膨胀率大的线膨胀率的基材44M上的接触片44的多个突点44B，并将基材44M和复制板10加热到规定的温度，从而使突点44B的连接面恢复为规定粗糙度的表面。

主权项

一种电极的恢复处理方法，包括第1工序、第2工序、及第3工序，在所述第1工序，在电极板的电极部的连接面上载置复制板，使该复制板的表面与该连接面相互接触，该电极板具有形成于绝缘基板上的电极部，并且通过该电极部的连接面与半导体器件的端子部进行电连接，该复制板具有形成有凹凸的表面；在所述第2工序，朝该电极部的连接面推压在上述第1工序中载置于上述电极部的连接面的复制板，使在每个电极部上施加的压力在1g以上100g以下，同时，在相对该连接面大体平行的任一方向上，按规定量使该复制板或该电极部的连接面相对移动至少1次；在所述第3工序，使上述复制板离开上述电极板，在上述电极部的连接面上获得规定的凹凸。