集成透明衬底及衍射光学组件

摘要

示出了在衬底上形成的衍射光学组件(DOE)。一个实施例中所述DOE的特征在于：在所述衬底的顶表面每个都单独产生多个元件。所述元件可以通过将多晶硅材料沉积在所述衬底或者通过在所述衬底形成硅晶体并进行蚀刻步骤而形成。可以使用所述DOE反射在所述衬底中以全内反射的方式行进的入射光。可以将形成所述DOE的所述条带的所述宽度、两者之间间隔和所述条带的高度设计得便于在所述衬底中以和所述入射光成锐角的传播方向反射所述入射光。

主权项

一种集成光学装置，包括：一光学衬底(102)，用于在所述衬底的顶表面(106)处以全内反射的方式以初始传播方向并且在第一平面内传播一入射光信号(104)；以及一衍射光学组件(100)，具有多个由光学透明材料组成并设置在所述衬底的顶表面上的被分隔隔离元件(108)，以与正传播的光信号耦合的渐逝场方式使得以全内反射的方式在所述顶表面上入射的入射光信号(104)衍射到所述衬底中，以便于在与所述第一平面成锐角α的第二平面内传播，其中所述第一平面和所述第二平面正交延伸到所述顶表面(106)。