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发明名称 METHOD AND COMPOSITION FOR REMOVING SODIUM-CONTAINING MATERIAL FROM MICROCIRCUIT SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1307786(B1) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 EP20010918830 申请日期 2001.03.19
申请人 MALLINCKRODT BAKER, INC. 发明人 SCHWARTZKOPF, GEORGE
分类号 G03F7/42;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/311 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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