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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PLANARIZING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE IN A PROBE CARD ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP1266230(B1) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 EP20010924201 申请日期 2001.03.16
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 MATHIEU, GAETAN, L.;ELDRIDGE, BENJAMIN, N.;GRUBE, GARY, W.
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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