准共光程外差干涉位移测量系统

摘要

本发明公开了一种准共光程外差干涉位移测量系统，包含：一外差光源，分为一参考光与一信号光；一光栅，使该信号光入射该光栅而产生一绕射光；一偏极分光镜，使该绕射光分为一第一绕射光与一第二绕射光；一个以上偏振板，使该参考光穿过该些偏振板而产生一参考干涉光，且该第一绕射光穿过该些偏振板而产生一第一干涉光，而该第二绕射光穿过该些偏振板而产生一第二干涉光；一信号处理装置，量得该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光的相位差而可得该光栅的位移量。本发明具有外差干涉相位测量的高灵敏度，且具有光学架构不受外在环境扰动的高稳定性，以直接测量因位移所造成的相位变化量以达到高测量精度。

主权项

一种准共光程外差干涉位移测量系统，其特征在于，包含：一外差光源，产生具有一参考光与一信号光的光，该参考光和信号光为两正交的线偏振光，该外差光源输出包含两个不同频率的光波；一光栅，使该信号光入射该光栅而产生一正绕射光与一负绕射光，该正绕射光具有两正交的线偏振光，且该负绕射光具有两正交的线偏振光；一偏极分光镜，使该正绕射光与该负绕射光中的两正交的线偏振光分开，且该正绕射光的P偏振光与该负绕射光的S偏振光重合成一第一绕射光，而该正绕射光的S偏振光与该负绕射光的P偏振光重合成一第二绕射光；一个以上偏振板，使该参考光穿过该些偏振板而产生一参考干涉光，且该第一绕射光穿过该些偏振板而产生一第一干涉光，而该第二绕射光穿过该些偏振板而产生一第二干涉光；及一信号处理装置，接受该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光，当该光栅移动时，该信号处理装置量得该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光的相位差而可得该光栅的位移量。