MOCVD控制程序及器件结构生成的模拟系统及方法

摘要

本发明揭示了一种MOCVD控制程序及器件结构生成的模拟系统及方法，包括：用于分别输入设备参数、器件结构参数及MOCVD控制程序的第一输入模块、第二输入模块和第三输入模块；用于转换模拟所得的内部数据并分别输出器件结构参数及MOCVD控制程序的第一输出模块和第二输出模块；用于根据内部数据模拟并给出MOCVD运行各种状态的模拟运行模块；以及与这些分立的模块通过双向数据相连的核心数据模块。通过核心数据模块调制收发各模块的数据，模拟并输出MOCVD运行的各状态信息、利用第一输出模块输出器件名称及结构参数、以及利用第二输出模块输出适于在MOCVD控制电脑上运行的程序。使材料生长控制程序的设计工作变得简单，也为初学者的模拟实践或者学软件提供了有效途径。

主权项

MOCVD控制程序及器件结构生成的模拟系统，其特征在于包括：用于分别输入设备参数、器件结构参数及MOCVD控制程序并转换成内部数据，且相互分立的第一输入模块、第二输入模块和第三输入模块；用于转换模拟所得的内部数据并分别输出器件结构参数及MOCVD控制程序的第一输出模块和第二输出模块；用于根据内部数据模拟MOCVD运行，给出各种状态的模拟运行模块；以及与这些分立的模块通过双向数据相连的核心数据模块。