发明名称 Mechanism for varying the end of stroke position of a cylinder and substrate processing apparatus including same
摘要
申请公布号 EP2028378(A3) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 EP20080014930 申请日期 2008.08.22
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HAYASHI, DAISUKE;NONAKA, RYO
分类号 F15B15/24;H01L21/687 主分类号 F15B15/24
代理机构 代理人
主权项
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