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发明名称
Mechanism for varying the end of stroke position of a cylinder and substrate processing apparatus including same
摘要
申请公布号
EP2028378(A3)
申请公布日期
2010.05.05
申请号
EP20080014930
申请日期
2008.08.22
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
HAYASHI, DAISUKE;NONAKA, RYO
分类号
F15B15/24;H01L21/687
主分类号
F15B15/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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