发明名称 硅片夹持器
摘要 本实用新型涉及一种硅片夹持器,其特征在于包括操作部及夹持部,所述操作部包括两个上端铰接在一起的弧形操作臂,操作臂上部分别设有操作手柄,操作臂的下端连接夹持部,两个操作臂上部的内侧连接有拉簧;所述夹持部为呈V形的夹持杆,夹持杆上设有容片槽。本实用新型结构简单,操作方便,夹持可靠,由于采用V形的夹持部及V形的容片槽,与硅片的接触面积小,减小对经抛光或清洗的硅片表面划伤或污染的可能,提高产品的合格率,减少原材料的浪费,降低制造成本。
申请公布号 CN201450000U 申请公布日期 2010.05.05
申请号 CN200920045486.5 申请日期 2009.05.19
申请人 宜兴市鼎科电子电力器材厂 发明人 周永清
分类号 H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 无锡华源专利事务所 32228 代理人 方为强
主权项 一种硅片夹持器,其特征在于:包括操作部及夹持部,所述操作部包括两个上端铰接在一起的弧形操作臂,操作臂上部分别设有操作手柄,操作臂的下端连接夹持部,两个操作臂上部的内侧连接有拉簧;所述夹持部为呈V形的夹持杆,夹持杆上设有容片槽。
地址 214000 江苏省宜兴市环保科技工业园