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发明名称 Method and apparatus for clamping a substrate
摘要
申请公布号 GB2453892(B) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 GB20090001615 申请日期 2007.06.27
申请人 SPEEDLINE TECHNOLOGIES INC 发明人 RICHARD WILLSHERE;JOSEPH A PERAULT;JAMES LYNCH
分类号 H01L21/00;B05C17/08 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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