发明名称 | 制造电子发射设备的方法、制造电子源和图像显示设备的方法 | ||
摘要 | 一种制造电子发射设备的前体的方法,包括制备电子发射部件的步骤以及交替地将电子发射部件暴露于含氧气体和含金属气体的步骤。 | ||
申请公布号 | CN1722345B | 申请公布日期 | 2010.05.05 |
申请号 | CN200510078159.6 | 申请日期 | 2005.06.17 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 武田俊彦;糠信恒树;森口拓人 |
分类号 | H01J9/02(2006.01)I;H01J31/12(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I | 主分类号 | H01J9/02(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 王萍 |
主权项 | 一种用于制造电子发射设备的前体的方法,包括下列步骤:制备电子发射部件;以及交替地将电子发射部件暴露于含氧气体和含金属气体中,从而所述含金属气体中包含的金属的膜或所述含金属气体中包含的金属化合物的膜被形成在所述电子发射部件的表面上,其中,所述含氧气体包括O2、H2O、或O3,所述含金属气体包括含有机金属的气体。 | ||
地址 | 日本东京 |