粘结卡盘装置

摘要

一种粘结卡盘装置，以简单的结构切实地装卸基板，在保持板(1)的基板侧，设有粘结部件(3)和变形膜(4)，该粘结部件(3)与基板(A)的反面(A1)相对地粘结保持，该变形膜(4)可向与该基板侧面(1a)交叉的方向出入变形，通过该变形膜(4)的出入变形使基板(A)与粘结部件(3)的粘结表面(3a)抵接地进行粘结，同时通过强制地拉开两者，能够不费力地将基板(A)从粘结部件(3)的粘结表面(3a)剥离。

主权项

一种粘结卡盘装置，其相对于保持板(1)通过粘结装卸自如地保持基板(A)，其特征在于，在所述保持板(1)的基板侧，与基板(A)的反面(A1)相对地凹设有多个或单个凹部(1b)，在该凹部(1b)的周围装卸自如地设置有粘结部件(3)，该凹部(1b)的开口由变形膜(4)覆盖，通过使上述变形膜(4)进行凹状变形，使上述粘结部件(3)的粘结表面(3a)与上述基板(A)抵接而进行粘结，通过使上述变形膜(4)突出变形，从上述粘结部件(3)的粘结表面(3a)强制地拉开并剥离上述基板(A)。