碳系薄膜及其制造方法、以及使用该薄膜的构件

摘要

本发明提供一种将特性不同的碳以容易应用于设备的方式进行复合化而得到的新的碳系材料。该碳系薄膜提供一种碳系薄膜(10)，所述碳系薄膜(10)包括：包含非晶体碳且沿膜厚方向伸长的多个第一相(1)；和包含石墨结构且存在于所述多个第一相(1)之间的第二相(2)，且从以下的a)～e)中选择的至少一个成立。第二相(2)比第一相：a)每单位体积包含更多的石墨结构；b)密度大；c)电阻率低；d)第二相(2)的弹性模量大于或等于第一相(1)的弹性模量；e)在第二相(2)中，石墨结构的基面沿膜厚方向取向。

主权项

一种碳系薄膜，其中，包括：包含非晶体碳且沿膜厚方向伸长的多个柱状的第一相；和包含石墨结构且存在于所述第一相之间的第二相，且从以下的a)～e)中选择的至少一个成立：a)所述第二相比所述第一相每单位体积包含更多的石墨结构；b)所述第二相的密度比所述第一相的密度大；c)所述第二相的电阻率比所述第一相的电阻率低；d)所述第二相的弹性模量大于或等于所述第一相的弹性模量；e)在所述第二相中，所述石墨结构的基面沿膜厚方向取向，所述碳系薄膜其成分以碳为主体，是指碳占有大于或等于50原子％，所述非晶体碳是指不具有周期性的长距离秩序的碳。