真空室及其分割方法

摘要

一种真空室(1)，其具有能够被自由拆分为以下组件的结构：矩形室主体(2)，通过螺栓连接可拆卸而又牢固地连接到室主体(2)的两个侧表面上的三角形侧面机架(3a)和(3b)，连接到室主体(2)和具有开口的侧面机架(3a)和(3b)的各顶面上的顶板(5)和(8)，和连接到室主体(2)和具有开口的侧面机架(3a)和(3b)的各底面上的底板(7)和(9)。于是，能够根据使用者的需要等，容易地改变真空室的形状和大小，即使在真空室安装之后仍能够改变真空室的形状和大小。

主权项

一种真空室，所述真空室用于真空处理装置，其特征在于，设有：框架状的多边形室主体、至少一个多边形侧面机架、若干个顶板，和若干个底板；所述框架状的多边形室主体包括一个具有开口的顶面、至少一个具有开口的侧面和一个具有开口的底面，所述多边形侧面机架包括一个具有开口的顶面、一个具有开口的侧面和一个具有开口的底面，所述若干个顶板分别与所述多边形室主体的所述具有开口的顶面和所述侧面机架的所述具有开口的顶面接合，所述若干个底板分别与所述多边形室主体的所述具有开口的底面和所述侧面机架的所述具有开口的底面接合；在所述多边形室主体的底板上设置着基片自动传送装置，所述多边形侧面机架的所述具有开口的侧面牢固而又可拆卸地与所述多边形室主体的所述至少一个具有开口的侧面连接，从而使所述多边形侧面机架能够从所述多边形室主体拆卸开。