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发明名称
Electron beam irradiation apparatus and method
摘要
申请公布号
EP1339084(A3)
申请公布日期
2010.05.05
申请号
EP20030250922
申请日期
2003.02.14
申请人
SONY CORPORATION;JEOL LTD.
发明人
MIURA, YOSHIHISA;AKI, YUICHI;KAWASE, HIROSHI;YAMAMOTO, MASANOBU;DATE, NAOKI;NORIOKA, SETSUO;KOIKUMI, MITSURU;KOMATSUBARA, GAKUO
分类号
G21K5/00;H01J37/301;A61N5/00;G03F7/20;G11B7/26;G11B9/10;G21G5/00;G21K5/04;H01J33/02;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/305
主分类号
G21K5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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