发明名称 Electron beam irradiation apparatus and method
摘要
申请公布号 EP1339084(A3) 申请公布日期 2010.05.05
申请号 EP20030250922 申请日期 2003.02.14
申请人 SONY CORPORATION;JEOL LTD. 发明人 MIURA, YOSHIHISA;AKI, YUICHI;KAWASE, HIROSHI;YAMAMOTO, MASANOBU;DATE, NAOKI;NORIOKA, SETSUO;KOIKUMI, MITSURU;KOMATSUBARA, GAKUO
分类号 G21K5/00;H01J37/301;A61N5/00;G03F7/20;G11B7/26;G11B9/10;G21G5/00;G21K5/04;H01J33/02;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/305 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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