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经营范围
发明名称
Electrostatic immersion objective comprising an improved intermediate electrode
摘要
申请公布号
US3201588(A)
申请公布日期
1965.08.17
申请号
US19620238239
申请日期
1962.11.16
申请人
TRUH, TAUBER & CO. A. G.
发明人
DUKER HEINRICH
分类号
H01J37/12;H01J37/285
主分类号
H01J37/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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