METHOD OF PRODUCING A SHEET COMPRISING THROUGH PORES AND THE APPLICATION THEREOF IN THE PRODUCTION OF MICRONIC AND SUBMICRONIC FILTERS

摘要

Le procédé comprend les étapes suivantes : - préparation d'une feuille, d'une épaisseur de 5~m à quelques dizaines de micromètres, apte à être gravée par une opération lithographique; - réalisation sur une face de la feuille d'un masque présentant une sélectivité S de gravure au moins égale à 5; - dépôt sur le masque d'une couche photosensible; - réalisation de pores traversants dans la couche de résine, par photolithographie; - gravure traversante du masque à travers les pores de la couche de résine; - gravure anisotrope traversante de la feuille à partir des pores du masque pour réaliser dans la feuille des pores ayant un facteur de forme supérieur à 5. Application à la fabrication de filtres microniques et submicroniques.