主动矩阵基板及其制造方法

摘要

提供一高开口率的主动矩阵基板，可防止画素电极与补助电容电极之间的电气短路。绝缘性基板1上形成闸极配线2以及补助电容电极3，并在补助电容电极3形成孔部3h。形成第1层间绝缘膜5以覆盖闸极配线2以及补助电容电极3，而在第1层间绝缘膜5上形成源极配线9、半导体层、以及汲极电极10，并形成第2层间绝缘膜12以覆盖源极配线9、半导体层、以及汲极电极10。在第2层间绝缘膜12形成接触窗14，且接触窗14在对应上述孔部3h的部分中到达汲极电极10。在第2层间绝缘膜12上形成的画素电极15系通过接触窗14连接至汲极电极10。

主权项

一种主动矩阵基板，包括：基板(1)；闸极配线(2)及补助电容电极(3)，形成于上述基板上；第1层间绝缘膜(5)，覆盖上述闸极配线及上述补助电容电极；源极配线(9)，在上述第1层间绝缘膜上与上述闸极配线交叉而形成；半导体层(6)，用以藉由上述闸极配线与上述源极配线的交叉部分构成开关元件；汲极电极(10)，对应上述各开关元件而设置；第2层间绝缘膜(12)，覆盖上述源极配线、上述半导体层、以及上述汲极电极；画素电极(15)，通过在上述第2层间绝缘膜中形成的接触窗(14)连接至上述汲极电极；其中，为了形成对上述画素电极的保持电容，上述补助电容电极具有孔部(3h)，且上述补助电容电极中至少上述孔部的周缘部夹住上述第1层间绝缘膜与上述汲极电极对向设置，且上述接触窗在上述孔部的形成区域的对应部分到达上述汲极电极而形成。