| 发明名称 |
碳化钽覆层碳材料及其制造方法 |
| 摘要 |
本发明提供于高温中对于还原性气体具有优越耐腐蚀性及耐热冲击性之碳化钽覆层碳材料及其制造方法。根据本发明，系提供具有碳基材及在上述碳基材上直接或介由中间层形成之覆层膜的碳化钽覆层碳材料。覆层膜由碳化钽之多数微结晶致密集合形成，较好在覆层膜之X光绕射图谱中，碳化钽(220)面之绕射强度显示出最大强度，更佳者为上述绕射强度显示出第2大强度之绕射强度4倍以上强度。 |
| 申请公布号 |
TWI324192 |
申请公布日期 |
2010.05.01 |
| 申请号 |
TW095104538 |
申请日期 |
2006.02.10 |
| 申请人 |
东洋炭素股份有限公司 |
发明人 |
藤原广和;山田典正;阿部纯久 |
| 分类号 |
C30B29/36;C23C16/32;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种碳化钽覆层碳材料，具有：碳基材；以及在上述碳基材上之碳化钽覆层膜，于覆层膜之X光绕射图谱中，碳化钽(220)面之绕射线，相对于其他米勒面系显示最大之绕射强度。 |
| 地址 |
日本 |
