发明名称 METHOD OF MANUFACTURING EPITAXIAL SUBSTRATE FOR SOLID-STATE IMAGING ELEMENT, AND EPITAXIAL SUBSTRATE FOR SOLID-STATE IMAGING ELEMENT
摘要
申请公布号 JP2010098105(A) 申请公布日期 2010.04.30
申请号 JP20080267341 申请日期 2008.10.16
申请人 SUMCO CORP 发明人 KURITA KAZUNARI
分类号 H01L21/322;H01L27/148 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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