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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING EPITAXIAL SUBSTRATE FOR SOLID-STATE IMAGING ELEMENT, AND EPITAXIAL SUBSTRATE FOR SOLID-STATE IMAGING ELEMENT
摘要
申请公布号
JP2010098105(A)
申请公布日期
2010.04.30
申请号
JP20080267341
申请日期
2008.10.16
申请人
SUMCO CORP
发明人
KURITA KAZUNARI
分类号
H01L21/322;H01L27/148
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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