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摘要 A method of measuring an object includes positioning the object on a moveable stage, performing a rotary scan of the object with a range sensor, and determining geometric parameters of the object based on the rotary scan.
申请公布号 JP2010513927(A) 申请公布日期 2010.04.30
申请号 JP20090543020 申请日期 2007.11.30
申请人 发明人
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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