发明名称 |
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА |
摘要 |
Представлен способ получения монокристалла, включающий пропускание поликристаллического стержня (1) через область нагревания (12) для создания зоны (3) плавления, наложение магнитного поля на зону плавления и инициирование роста монокристалла (5) при затвердевании расплавленного материала на затравке (4) монокристалла. Растущий монокристалл вращается в режиме попеременного вращения между направлениями вращения по часовой стрелке и против часовой стрелки. Способ применим для получения кремниевых монокристаллов, имеющих однородные электрические характеристики. Также раскрыто устройство для исполнения названного способа. |
申请公布号 |
EA200970941(A1) |
申请公布日期 |
2010.04.30 |
申请号 |
EA20090070941 |
申请日期 |
2007.04.13 |
申请人 |
ТОПСИЛ СЕМИКОНДАКТОР МАТЕРИАЛЗ А/С |
发明人 |
Вобенгор Пер;Нильсен Анна;Ларсен Теис Лет;Петерсен Ян Эювинг;Йенсен Леиф |
分类号 |
C30B13/26;C30B13/32;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B13/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|