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发明名称 Film forming apparatus
摘要
申请公布号 AU2009292608(A1) 申请公布日期 2010.04.29
申请号 AU20090292608 申请日期 2009.02.25
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 TAKAO SAITO;TATSUYA TERAZAWA
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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