Oxidations- und Reinigungsverfahren für Siliziumscheiben

摘要

Oxidations- und Reinigungsverfahren für Siliziumscheiben, bei welchem die Siliziumscheiben an zumindest einem Teil ihrer Oberfläche mit einer Siliziumoxidschicht versehen werden (12; 24), bevor sie in einer alkalischen Ätzlösung geätzt werden (14; 26) und sie in einer Lösung geätzt werden (16), welche eine metallische Verunreinigungen oxidierende Säure enthält, wobei wenigstens ein Teilbereich der Siliziumoxidschicht ungeschützt der Ätzlösung und der Säure ausgesetzt wird, und bei welchem die Siliziumscheiben nach den Ätzvorgängen in deionisiertem Wasser gespült werden (18), wobei der wenigstens eine ungeschützte Teilbereich der Siliziumoxidschicht mindestens zum Teil auf den Siliziumscheiben belassen wird und die Siliziumscheiben nach dem Spülen (18; 32) getrocknet werden (20).