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发明名称
A GAS DISTRIBUTION ASSEMBLY FOR USE IN A SEMICONDUCTOR WORK PIECE PROCESSING REACTOR
摘要
申请公布号
KR100955371(B1)
申请公布日期
2010.04.29
申请号
KR20070076293
申请日期
2007.07.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/203;H01L21/205
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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