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经营范围
发明名称
CAPACITIVELY COUPLED PLASMA REACTOR FOR PROCESSING DUAL SUBSTRATES
摘要
申请公布号
KR100955207(B1)
申请公布日期
2010.04.29
申请号
KR20070106349
申请日期
2007.10.22
申请人
发明人
分类号
H05H1/24;H05H1/30;H05H1/34;H05H1/36
主分类号
H05H1/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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