| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil (100) mit einem Spiegelelement (50), einem Antrieb, welcher dazu ausgelegt ist, das Spiegelelement (50) um mindestens eine Drehachse zu verstellen, und mindestens einem Vibrationselement (90), welches dazu ausgelegt ist, zumindest eine reflektierende Oberfläche (56) des Spiegelelements (50) in eine Vibrationsbewegung senkrecht zu der ersten Drehachse zu versetzen. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil (100) mit einem Lichtfenster (86) und mindestens einem Vibrationselement (90), welches dazu ausgelegt ist, zumindest eine Grenzfläche (102) des Lichtfensters (86) in eine Vibrationsbewegung senkrecht zu der ersten Drehachse zu versetzen. Des Weiteren betrifft die Erfindung entsprechende Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils.</p> |
