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发明名称 Verfahren zum Mattierungsätzen von Siliziumsubstraten und Ätzmischung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE102007061687(B4) 申请公布日期 2010.04.29
申请号 DE20071061687 申请日期 2007.12.19
申请人 CPI CHEMIEPARK INSTITUT GMBH 发明人 PREISING, HENRI;SPEER, VOLKER
分类号 C23F1/24 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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