发明名称 Mit stickstoff dotiertes silizium das im wesentlichen frei von oxidationsinduzierten stapelfehlern ist
摘要
申请公布号 DE60141611(D1) 申请公布日期 2010.04.29
申请号 DE20016041611 申请日期 2001.08.30
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC. 发明人 HAGA, HIROYO;BANAN, MOHSEN;AOSHIMA, TAKAAKI
分类号 C30B29/06;C30B15/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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