发明名称 |
LDMOS功率器件 |
摘要 |
本发明公开了一种LDMOS功率器件,包括衬底、衬底上的第一导电类型外延层、以及形成于第一导电类型外延层上的源极区和漏极区,所述源极区与衬底导电连接,所述衬底为与第一导电类型相反的第二导电类型衬底。本发明在不用降低其它参数指标的前提下,减小了栅极到源极的电容Cgs和漏极到源极的电容Cds,实现了射频条件下器件高增益和高效率的工作。 |
申请公布号 |
CN101699630A |
申请公布日期 |
2010.04.28 |
申请号 |
CN200910246051.1 |
申请日期 |
2009.11.19 |
申请人 |
苏州远创达科技有限公司;远创达科技(香港)有限公司;远创达科技(开曼)有限公司 |
发明人 |
马强;陈强 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
范晴 |
主权项 |
一种LDMOS功率器件,包括衬底(1)、衬底(1)上的第一导电类型外延层(2)、以及形成于第一导电类型外延层(2)上的源极区和漏极区,所述源极区与衬底(1)导电连接,其特征在于:所述衬底(1)为与第一导电类型相反的第二导电类型衬底(1a)。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区林泉街399号东大苏州研究院1号楼408室 |