压电元件及其制造方法、以及喷墨头和喷墨式记录装置

摘要

本发明提供压电元件及其制造方法、以及使用该压电元件的喷墨头及喷墨式记录装置。其中，压电元件(20)的压电体薄膜(3)中包含的铅量比化学计量成分少。即，由用Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3(0＜s＜1)表示的锆钛酸铅、或将A作为进入钙钛矿型晶体结构的A位置的添加金属离子，将B作为进入钙钛矿型晶体结构的B位置的添加金属离子，用(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3(x＝0.03、y＝0.06；x＝0.02、y＝0.02；或x＝0.08、y＝0.01，0＜s＜1，0＜t＜1-s)表示的锆钛酸铅类氧化物构成压电体薄膜(3)，表示Pb组成的缺损量的x的值大于0而小于等于0.15。

主权项

一种压电元件，具有按照第一电极膜、压电体薄膜、第二电极膜这样的顺序层叠构成的层叠体，其特征在于：所述压电体薄膜是由呈钙钛矿型晶体结构的氧化物、化学组成式用Pb(1-x)(Zr(1-s)Tis)O3，其中0＜s＜1表示的锆钛酸铅、或将A作为进入钙钛矿型晶体结构的A位置的添加金属离子，将B作为进入钙钛矿型晶体结构的B位置的添加金属离子，用(Pb(1-x-y)Ay)(Zr(1-s-t)TisBt)O3，其中x＝0.03、y＝0.06；x＝0.02、y＝0.02；或x＝0.08、y＝0.01，0＜s＜1，0＜t＜1-s表示的锆钛酸铅类氧化物形成，在所述锆钛酸铅及锆钛酸铅类氧化物的化学组成式中，表示化学计量组成中的Pb组成的缺损量的x的值大于0而小于等于0.15。