用于平板显示器的透明导电膜

摘要

用于平板显示器的透明导电膜及其制造方法。一般地，根据本发明的方法包括：(1)提供柔性塑料基底；(2)以薄膜沉积技术在柔性塑料基底上连续沉积多层导电金属膜，多层导电金属膜包括由选自氧化铟铈(InCeO)和氧化铟锡(ITO)的合金制成的两层，这两层包围银、钯和铜(Ag/Pd/Cu[APC])的合金的单层；和(3)将复合膜收集在连续辊中。典型薄膜沉积技术为直流磁控管溅射。本发明另一方面是用根据本发明的方法制造的复合膜。本发明再一方面是复合膜，包括如上所述在柔性塑料基底上形成的多层膜，其中复合膜具有的综合性质包括：整个可见区的光透射率至少为80％；电阻率不大于约10Ω/平方；均方根粗糙度不大于约2.5nm；且多层金属膜和复合膜其余部分间的层间粘结力大得足以经受180℃剥落粘结测试。

主权项

一种形成复合膜的方法，其包括：提供柔性塑料基底；和通过薄膜沉积技术在所述柔性塑料基底上连续沉积多层导电金属膜以形成复合膜，所述多层导电金属膜包括由选自氧化铟铈和氧化铟锡的合金制成的两个层，所述两个包围合金层中每一个的厚度为30nm至60nm，所述两个层包围银、钯和铜的合金层，所述银、钯和铜的合金层的厚度为7nm至20nm，且包括97％至99％的银、0.3％至0.8％的钯、以及1.2％至1.8％的铜，其中所述复合膜在550纳米处的透射率为至少90％。