一种微纳米结构图案的转印装置及方法

摘要

一种微纳米结构图案的转印装置及方法，该装置包括：一载台、一基板、一待转印的可成形材料层、一微纳米结构图形模具及一电磁波源，其中基板设于该载台上，且基板上具有待转印的可成形材料层，微纳米结构图形模具与该载台和该基板相对设置，且该微纳米结构图形模具可对该可成形材料层进行结构转印；该电磁波源可分别或同时提供该基板、该可成形材料层及该微纳米结构图形模具能量，达到加热该可成形材料层并增加其流动性的目的。该装置以电磁波传递的方式，可迅速改变可成形材料层的热能状态，故不需藉由多层堆栈热传导的方式，即可迅速加热可成形材料层并增加其流动性。

主权项

一种微纳米结构图案的转印装置，其包括：基板；待转印的可成形材料层；微纳米结构图形模具，其与基板和待转印的可成形材料层相对设置，以加压该待转印的可成形材料层，进行微纳米结构图形转印；电磁波源，提供电磁波；其特征在于，该待转印的可成形材料层为可吸收电磁波源能量的材料，该可成形材料层吸收电磁波能量并转换成热能，以增加该可成形材料层流动性。