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发明名称 Liquid processing apparatus and liquid processing method
摘要
申请公布号 EP1840942(B1) 申请公布日期 2010.04.28
申请号 EP20070006250 申请日期 2007.03.27
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NANBA, HIROMITSU;YOSHIDA, MASAHIRO;MURAKAMI, YUJI;NAGAYASU, HIROSHI
分类号 H01L21/00;H01L21/302;H01L21/321;H01L21/66 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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