透射反射型液晶显示器件及其制造方法

摘要

一种CMOS-TFT阵列基板及其制造方法，用低掩模技术减少掩模的使用次数，该基板包括具有多个像素区的有源区和用于驱动有源区的驱动电路区，各像素区具有透射部分和反射部分；在像素区内形成的具有第一源极/漏极区的第一半导体层；在驱动电路区内形成的具有第二源极/漏极区的第二半导体层；在包括第一和第二半导体层的基板的整个表面上的栅极绝缘层；位于第一和第二半导体层上方的栅极绝缘层上的第一和第二栅极；像素区内的存储电极；在基板的整个表面上的绝缘中间层；在绝缘中间层的像素区上形成的并且与该存储电极重叠的透射电极；在包括透射电极的基板的整个表面上的钝化层；在反射部分的钝化层上的反射电极；及第一和第二源极/漏极。

主权项

一种透射反射型液晶显示器件，包括：包括具有多个像素区的有源区和用于驱动有源区的驱动电路区的基板，各像素区具有透射部分和反射部分；具有在像素区内形成的第一源极/漏极区的第一半导体层；具有在驱动电路区内形成的第二源极/漏极区的第二半导体层；在包括第一和第二半导体层的基板的整个表面上的栅极绝缘层；位于第一和第二半导体层上方的栅极绝缘层上的第一和第二栅极；像素区内的存储电极；在基板的整个表面上的绝缘中间层；在所述存储电极与一反射电极之间的该绝缘中间层的像素区上形成的透射电极；在包括透射电极的基板的整个表面上的钝化层；通过去除栅极绝缘层、绝缘中间层和钝化层暴露出第一和第二源极/漏极区的接触孔；通过去除钝化层暴露出透射电极的对应于透射部分的开放区；通过接触孔与第一和第二源极/漏极区接触的第一和第二源极/漏极；在反射部分的钝化层上的所述反射电极，该反射电极具有与第一漏极直接接触的一端和通过开放区与透射电极接触的另一端；以及该基板与另一相对基板之间的液晶层，其中，所述反射电极与第一漏极一体形成。