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经营范围
发明名称
Power supply antenna and power supply method
摘要
申请公布号
EP1912246(A3)
申请公布日期
2010.04.28
申请号
EP20070023345
申请日期
2001.06.21
申请人
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人
MATSUDA, RYUICHI;UEDA, NORIAKI;YOSHIDA, KAZUTO
分类号
C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01Q1/36;H01Q7/00;H01Q21/06;H05H1/30
主分类号
C23C16/507
代理机构
代理人
主权项
地址
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