| 发明名称 |
DEVICE FOR DEPOSITING A POLYCRYSTALLINE SILICON LAYER ON A SUPPORT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1702085(B1) |
申请公布日期 |
2010.04.28 |
| 申请号 |
EP20040816528 |
申请日期 |
2004.12.10 |
| 申请人 |
SOLARFORCE |
发明人 |
BELOUET, CHRISTIAN;REMY, CLAUDE |
| 分类号 |
C23C2/40;B05C3/12;C23C2/00;C30B15/00;C30B28/10 |
主分类号 |
C23C2/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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